一、校準前準備

1. 環(huán)境條件驗證：

   • 確保環(huán)境溫度穩定在設備要求的范圍內（如20±5℃），避免氣流擾動(dòng)影響傳感器精度。
   • 系統壓力需穩定在閥門(mén)量程的10%~90%范圍內，以確保校準的準確性。

2. 設備與介質(zhì)檢查：

   • 使用經(jīng)認證的標準流量計（精度±0.2%FS以上）串聯(lián)接入管路，用于對比和校準。
   • 確認氣體純度>99.5%，無(wú)油污、顆粒物，建議加裝5μm過(guò)濾器以防止雜質(zhì)影響校準結果。
   • 檢查閥門(mén)密封件無(wú)老化破損，線(xiàn)圈電阻值偏差<±10%，以確保設備狀態(tài)良好。

二、校準操作流程

1. 零點(diǎn)校準：

   • 關(guān)閉下游閥門(mén)，確保流量為零，穩壓時(shí)間≥3分鐘。
   • 通過(guò)操作界面進(jìn)入零點(diǎn)校準模式（如CAL ZERO），確認輸出信號穩定在4mA（或0V）。
   • 執行零點(diǎn)寫(xiě)入操作，若偏差>±0.1%FS需重新調校。

2. 量程校準：

   • 通入80%~100%滿(mǎn)量程流量（如60 lN/min對應48~60 lN/min）。
   • 比較標準流量計讀數與控制器顯示值，誤差>±0.5%FS時(shí)進(jìn)入量程校準模式（如CAL SPAN）。
   • 輸入標準流量值并確認校準，重復三次取均值以提高校準精度。

3. 雙氣體模式切換（如適用）：

   • 在菜單中預設第二氣體參數（分子量/比熱容）。
   • 通過(guò)氣體選擇功能（如GAS SELECT）切換氣體類(lèi)型，無(wú)需重新校準。

三、關(guān)鍵參數與技術(shù)限制

1. 校準周期：

   • 建議每6個(gè)月強制校準一次，以確保測量精度。

2. 流量范圍與誤差：

   • 流量范圍需根據設備型號確定（如0.010~80 lN/min）。
   • 允許誤差≤±0.5%FS（校準后），需定期驗證以確保誤差在可控范圍內。

3. 響應時(shí)間：

   • 響應時(shí)間≤50ms（需校準后驗證），以滿(mǎn)足工藝生產(chǎn)過(guò)程的操作要求。

四、校準失敗處理方案

1. 輸出漂移：

   • 檢查傳感器污染情況，使用專(zhuān)用清潔劑（如BURKERT CL06）沖洗流道。
   • 驗證電源波動(dòng)情況，確保24V DC電壓波動(dòng)<±0.5V。

2. 無(wú)法進(jìn)入校準模式：

   • 確認閥門(mén)處于手動(dòng)控制狀態(tài)（非總線(xiàn)通信模式）。
   • 重啟控制器并重載出廠(chǎng)參數，以恢復默認設置。